1、引言

VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。

2、主要技術(shù)指標(biāo)

電機(jī)功率：350W

電源：AC220V 50Hz

速度范圍：500rpm-10000rpm

程序運(yùn)行：可儲存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段

增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s

時(shí)間范圍：0-60s

吸盤：?19mm、?60mm

本機(jī)可選配加熱功能：加溫范圍RT-150℃； 加熱蓋，水槽及吸盤采用耐高溫材質(zhì)聚四氟；溫度單獨(dú)控制，與主機(jī)程序控制無關(guān)聯(lián)；

尺寸：450mm×280mm×340mm

重量：20kg

VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)的主要特點(diǎn)包括：

1. 真空吸附方式固定樣件，操作簡便

2. 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置，以減少偏心而造成的震動或飛片

3. 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤，且更換方便簡單

4. 設(shè)有12組程序，每組包含6個(gè)運(yùn)行階段

5. 電機(jī)啟動快速穩(wěn)定，可以保證涂層厚度的一致性和均勻性

6. 真空度最大可以達(dá)到-0.08MPa

7. 本機(jī)可選配加熱功能：加溫范圍RT-150℃

VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)的技術(shù)參數(shù)如下

1. 電機(jī)功率：350W。

2. 速度范圍：500rpm-10000rpm。

3. 程序運(yùn)行：可儲存12組程序，每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。

4. 增減速率設(shè)置范圍：100rpm/s-2000rpm/s。

5. 時(shí)間范圍：0-60s。

6. 吸盤：?19mm、?60mm。

真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)